.NM， 绝对?磁版本；

.HV， ?真空版本;

1             底?尺?*?度

65 × 65 mm × 12 mm

2            主体材料

不锈钢

不锈钢

3            线缆 & 接头

标准屏蔽线缆

DSub9 接头

kapton漆包线，

PEEK-2mm插针

运动参数-空间推荐安装形式 I.（下列性质均在推荐安装形式下测得）

4            运动?程

6 mm

5            *?速度

推荐使? 0.5mm/min，*?2 mm/s

6            *?步伐

典型值20 nm，*? 50 nm

7            驱动频率

*?频率2 kHz，典型 350 Hz

8            主动推?

20 N

9            保持?

100 N

10           *?侧向?

1 N

运动参数-空间推荐安装形式 II.（下列性质均在推荐安装形式下测得）

11           *?垂直负载

2 N

12           保持?

5 N

其他

13           使?温度

10 - 40 °C