热词: 太阳能电池检测仪器(系统）荧光光谱分析仪（系统）拉曼光谱分析仪光谱测量应用系统高光谱成像仪/高光谱分析系统电移台系列产品光谱仪、光栅光谱仪、单色仪手动位移台系列产品专用光源光谱测量用探测器光学调整架系列产品微弱信号处理器光学平台系列产品光谱仪器系列光学元件系列产品光机产品系列电动直线滑台 LED Tester, LED 分光机

北京卓立汉光仪器有限公司： 光栅光谱仪,氙灯光源,太阳能电池测试,光学平台,手动位移台,荧光光谱分析仪

产品目录

光谱仪器系列: 太阳能电池检测仪器(系统）; 荧光光谱分析仪（系统）; 拉曼光谱分析仪; 光谱测量应用系统; 高光谱成像仪/高光谱分析系统; 光谱仪、光栅光谱仪、单色仪; 专用光源; 光谱测量用探测器; 微弱信号处理器

光机产品系列: 电移台系列产品; 手动位移台系列产品; 光学调整架系列产品; 光学平台系列产品; 光学元件系列产品

电动直线滑台

LED Tester, LED 分光机

公司名称：北京卓立汉光仪器有限公司
电话：010-56370168-696
手机：13810146393
传真：010-56370118
联系人：市场部

产品展示

半导体晶圆拉曼光谱测试系统

点击次数：142 发布时间：2024/4/30 13:43:03

查看大图

公司名称：北京卓立汉光仪器有限公司型号：生产地址：中国大陆已获点击：142 简单介绍：半导体晶圆拉曼光谱测试系统具有自动对焦和实时表面跟踪功能，无需样品标记，可进行无损非接触式测量，空间分辨率＜1μm。系统可以对第三代半导体进行组分、应力、载流子浓度、结晶度和缺陷进行检测，广泛地应用于半导体材料的质量监控、失效分析。

详细内容

半导体晶圆拉曼光谱测试系统R1——应力、组分、载流子浓度

面向半导体晶圆检测的拉曼光谱测试系统
主要功能：

•光穿过介质时被原子和分子散射的光发生频率变化，该现象称为拉曼散射。

•拉曼光谱的强度、频移、线宽、特征峰数目以及退偏度与分子的振动能态、转动能态、对称性等紧密相关

•广泛地应用于半导体材料的质量监控、失效分析。

仪器架构：

性能参数：

拉曼激发和收集模块	激光波长	532 nm
	激光功率	100 mW
	自动对焦	•在全扫描范围自动聚焦和实时表面跟踪 •对焦精度<0.2微米
	显微镜	•用于样品定位和成像 •100x，半复消色差物镜 •空间分辨率<2微米
	拉曼频移范围	80-9000 cm-1
样品移动和扫描平台	平移台	•扫描范围大于300x300mm。 •*小分辨率1微米。
	样品台	•8寸吸气台（12寸可定制） •可兼容2、4、6、8寸晶圆片
光谱仪和探测器	光谱仪	•320 mm焦长单色仪，接面阵探测器。 •分辨率<2.0 cm-1。
软件	控制软件	•可选择区域或指定点位自动进行逐点光谱采集
软件	Mapping数据分析软件	•可对光谱峰位、峰高和半高宽等进行拟合。 •可自动拟合并计算应力、晶化率、载流子浓度等信息，样品数据库可定制。 •将拟合结果以二维图像方式显示。

晶圆Mapping软件界面

数据分析软件界面

应力检测—GaN晶圆片

利用拉曼光谱568 cm-1位置的特征峰位移动，可以检测GaN晶圆表面应力分布。类似方法还可应用于表征Si/SiC/GaAs等多种半导体。

载流子浓度检测——SiC晶圆片

组分检测——结晶硅薄膜晶化率测试

结晶率指晶态硅与晶界占非晶态、晶态、晶界总和的质量百分比或体积百分比，是评价结晶硅薄膜晶化效果的一项重要指标。晶化率𝛸𝛸𝑐𝑐可通过拟合拉曼光谱分峰后定量计算。

多层复杂晶圆质量检测——AlGaN/GaNHEMT

•氮化镓高电子迁移率晶体管则凭借其良好的高频特性在移动电话、卫星电视和雷达中应用广泛。

•晶圆片包含Si/AlGaN/GaN多层薄膜结构。

•拉曼光谱可给出多层结构的指纹峰，并对其应力、组分、载流子浓度等进行分析。

AlGaN/GaN晶圆，直径6英寸

面向半导体晶圆检测的拉曼光谱测试系统

仪器订购
样品委托测试

更新时间：2024/5/17 8:52:45

标签：半导体晶圆拉曼光谱测试系统

快速询价

留言框
感兴趣的产品：	*
您的单位：	*
您的姓名：	*
联系电话：	*
详细地址：
常用邮箱：
您的任何要求、意见或建议： *
验证码：	*

产品目录

产品展示

半导体晶圆拉曼光谱测试系统

详细内容

快速询价

同类相关产品

相关文章