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深紫外飞秒激光器概述以可调谐的锁模钛宝石激光器作为基频光源,经过多级倍频/和频来产生192-200nm波段的深紫外超短脉冲激光(图1)。
图1. 192-200 nm超短脉冲激光产生方案示意图
基于基频光源的不同选择,激光波长还可以实现大范围的调谐,范围可覆盖192-300 nm波段,且连续可调。另外还可输出覆盖二次谐波(375-500 nm)、三次谐波((230-300 nm)波段的可见、紫外超短脉冲激光。
另外,基频光源也可选择1 μm波段(1064 nm、1030 nm)锁模激光器,可获得四次谐波(~260 nm)和五次谐波(~210 nm)的紫外激光。
图2. 激光器实物图(192-300 nm连续调谐,尺寸1300*600*200mm3,不含基频源)
技术特点:
· 覆盖深紫外、紫外、可见光的大范围波长调谐
· 电动控制波长调谐
· 高指向稳定性
· 图形化人机交互界面
· 波长可扩展
· 覆盖深紫外、紫外、可见光的大范围波长调谐
· 电动控制波长调谐
· 高指向稳定性
· 图形化人机交互界面
· 波长可扩展
深紫外飞秒激光器应用领域:
· 超快光谱探测
· 高精密激光加工
· 荧光寿命探测
· 非线性光学
· 超快光谱探测
· 高精密激光加工
· 荧光寿命探测
· 非线性光学
2. 基频光源技术参数
典型的基频光源可选择Coherent公司CHAMELEON 系列钛宝石激光器或Spectra-Physics公司的Maitai HP系列激光器。主要技术指标如下:
技术指标 | 典型参数 | |
波长 | 780 nm或波长可调谐 | 根据需求固定激光波长,或可调波长 |
脉冲宽度 | 100 fs、50 fs | |
重复频率 | 80 MHz | |
光束质量 | M2<1.3 | |
功率 | ~2.5W@780 nm | 取决于*终需求的深紫外激光功率,2.5W基频光对应于约4mW的195nm激光功率 |
3. 输出技术指标
图3.各波段激光输出功率:
(1)195 nm激光输出功率约4 mW(基频功率>2.5W@780nm).
(2)195 nm激光输出功率约0.5 mW(基频功率>1.4W@780nm)
技术指标 | 典型参数 | |
波长 | 195nm或波长可调谐192-300nm | 根据需求固定激光波长,或可调波长 |
脉冲宽度 | ~500fs@266nm | 基频光脉冲宽度100fs时测试结果 |
重复频率 | 80MHz | |
功率 | ~4mW@195nm | 典型调谐功率见下图((基于MaitaiHP基频源测试) |
图3.各波段激光输出功率:
(a)二次谐波;(b)直接四次谐波;(c)三次谐波;(d)四次谐波(和频)。
更新时间:2024/5/16 11:24:24
标签:激光器 飞秒激光器
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